上海漢虹全自動12英寸半導體單晶爐批量投入產線 近期，上海漢虹精密機械有限公司再傳佳報，12英寸半導體單晶爐（FT-CZ3212B）開始批量投入產線使用。該設備可穩定量產高品質大直徑晶棒，也標志著12英寸硅片大規模、產業化布局取得 單晶爐 材料設備 2019-08-01
