9月29日，晶瑞股份發(fā)布公告，披露了其向不特定對(duì)象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券預(yù)案，并擬購(gòu)買ASML光刻機(jī)設(shè)備，以加碼其光刻膠業(yè)務(wù)。
募資5.50億元攻堅(jiān)ArF光刻膠
公告顯示，公司于9月28日召開第二屆董事會(huì)第二十八次會(huì)議、第二屆監(jiān)事會(huì)第二十次會(huì)議，審議通過(guò)了公司向不特定對(duì)象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券的相關(guān)議案。
根據(jù)議案，晶瑞股份擬向不特定對(duì)象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券（以下簡(jiǎn)稱“可轉(zhuǎn)債”）募集資金。本次發(fā)行募集資金總額不超過(guò)5.50億元（含5.50億元），扣除發(fā)行費(fèi)用后，募集資金擬投入集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目、陽(yáng)恒化工年產(chǎn)9萬(wàn)噸超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體級(jí)高純硫酸技改項(xiàng)目以及補(bǔ)充流動(dòng)資金或償還銀行貸款，分別擬投入募集金額3.13億元、7200萬(wàn)元、1.65億元。
來(lái)源：公告截圖
從擬投入募集金額可見，集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目是本次募投的重頭戲，晶瑞股份指出，當(dāng)前國(guó)際形勢(shì)復(fù)雜，我國(guó)必須形成自主可控的集成電路關(guān)鍵材料的產(chǎn)業(yè)化能力，實(shí)施該項(xiàng)目能夠疏通行業(yè)“閉塞”的產(chǎn)業(yè)環(huán)境，對(duì)振興國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)，促進(jìn)產(chǎn)品升級(jí)換代具有重要意義。作為半導(dǎo)體領(lǐng)域技術(shù)壁壘最高的材料之一，光刻膠國(guó)產(chǎn)化任重道遠(yuǎn)。
據(jù)披露，集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目為由晶瑞股份牽頭發(fā)起的超大規(guī)模集成電路用高端光刻膠技術(shù)攻關(guān)及產(chǎn)業(yè)化工程的攻關(guān)任務(wù)之一，旨在通過(guò)自主研發(fā)，打通ArF光刻膠用樹脂的工藝合成路線，完成ArF光刻膠用樹脂的中試示范線建設(shè)，滿足自身ArF光刻膠的性能要求。實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)ArFImmersion光刻膠的成套技術(shù)體系并完成產(chǎn)品定型，技術(shù)指標(biāo)和工藝性能滿足45～14nm集成電路技術(shù)和生產(chǎn)工藝要求。
斥資1102.5萬(wàn)美元購(gòu)買ASML光刻機(jī)設(shè)備
在籌措資金的同時(shí)，晶瑞股份亦正在為其發(fā)力高端光刻膠備下重要“武器”——光刻機(jī)。
晶瑞股份公告稱，公司擬與韓國(guó)SKHynix簽訂設(shè)備進(jìn)口合同，同時(shí)由SingtestTechnologyPTE.LTD.作為本次設(shè)備采購(gòu)的代理商。公司為開展集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目，擬通過(guò)SingtestTechnologyPTE.LTD.進(jìn)口韓國(guó)SKHynix的ASML光刻機(jī)設(shè)備，總價(jià)款為1102.5萬(wàn)美元。
來(lái)源：ASML
據(jù)披露，晶瑞股份已于2020年9月8日通過(guò)代理商SingtestTechnologyPTE.LTD.向SKHynix報(bào)價(jià)，于2020年9月24日確定中標(biāo)。公告指出，公司就供應(yīng)商提供設(shè)備的能力、代理商協(xié)助交貨能力進(jìn)行了合理判斷，認(rèn)為該供應(yīng)商及代理商具備可靠的履約能力。SKHynix是全球第二大內(nèi)存芯片制造商，在韓國(guó)利川與青州、中國(guó)無(wú)錫與重慶設(shè)有四個(gè)生產(chǎn)基地。
公告表示，本次合同的順利履行可以保障集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目關(guān)鍵設(shè)備的技術(shù)先進(jìn)性和設(shè)備如期到位并投產(chǎn)，對(duì)加快項(xiàng)目進(jìn)度有積極影響。本次交易有利于進(jìn)一步提升公司光刻膠產(chǎn)品的核心競(jìng)爭(zhēng)力，有助于落實(shí)公司發(fā)展戰(zhàn)略，提高公司抗風(fēng)險(xiǎn)能力和可持續(xù)發(fā)展能力。
攜手長(zhǎng)江存儲(chǔ)等企業(yè)推動(dòng)光刻膠國(guó)產(chǎn)化
資料顯示，晶瑞股份是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料主要企業(yè)之一，主要生產(chǎn)半導(dǎo)體用超凈高純?cè)噭⒐饪棠z、功能性材料、鋰電池材料等電子化學(xué)品。
晶瑞股份的光刻膠產(chǎn)品由其子公司蘇州瑞紅生產(chǎn)，蘇州瑞紅規(guī)模生產(chǎn)光刻膠20多年，i線光刻膠產(chǎn)品已正常供應(yīng)中芯國(guó)際等代表性的半導(dǎo)體企業(yè)使用，目前完成中試的KrF（248nm）光刻膠也已進(jìn)入客戶測(cè)試階段，達(dá)到0.15μm的分辨率。
此外，晶瑞股份在2016年與三菱化學(xué)在蘇州設(shè)立了LCD用彩色光刻膠共同研究所，為三菱化學(xué)的彩色光刻膠在國(guó)內(nèi)的檢測(cè)以及中國(guó)國(guó)內(nèi)客戶評(píng)定檢測(cè)服務(wù)，并于2019年開始批量生產(chǎn)供應(yīng)顯示面板廠家。
公告表示，華虹半導(dǎo)體、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)等國(guó)內(nèi)主流的集成電路制造商是公司客戶，已成為公司戰(zhàn)略合作伙伴。2020年6月，蘇州瑞紅與合肥長(zhǎng)鑫于“長(zhǎng)三角一體化發(fā)展重大合作事項(xiàng)簽約儀式”上簽署光刻膠相關(guān)合作協(xié)議，未來(lái)公司將聯(lián)合華虹半導(dǎo)體、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)等下游客戶共同推進(jìn)高端光刻膠產(chǎn)品研發(fā)和應(yīng)用。
據(jù)了解，光刻膠長(zhǎng)年被日本、歐美企業(yè)壟斷，目前前五大廠商占據(jù)了全球光刻膠市場(chǎng)87%的份額，行業(yè)集中度較高。
公告指出，我國(guó)光刻膠行業(yè)發(fā)展起步較晚，生產(chǎn)能力主要集中于PCB光刻膠、TN/STN-LCD光刻膠等中低端產(chǎn)品，而TFT-LCD、半導(dǎo)體光刻膠等高端產(chǎn)品仍需大量進(jìn)口。我國(guó)目前適用于6英寸硅片的g線、i線光刻膠的自給率約為20%，適用于8英寸硅片的KrF光刻膠的自給率不足5%，而適用于12英寸硅片的ArF光刻膠基本依靠進(jìn)口。
在國(guó)際貿(mào)易環(huán)境復(fù)雜多變的大環(huán)境下，實(shí)現(xiàn)光刻膠等關(guān)鍵材料的進(jìn)口替代迫在眉睫，如今晶瑞股份加碼發(fā)力，有望進(jìn)一步加速光刻膠國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。
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封面圖片來(lái)源：ASML
