隨著半導(dǎo)體工藝的快速發(fā)展,超純水的品質(zhì)與資源效率已成為影響行業(yè)競爭力的重要因素。其中,超純水的品質(zhì)直接影響到半導(dǎo)體產(chǎn)品的良率和性能,而循環(huán)利用率則影響企業(yè)的節(jié)水效能和降本增效能力。高頻科技作為一家聚焦于芯片制造等電子核心產(chǎn)業(yè)的超純水系統(tǒng)供應(yīng)商,以創(chuàng)新為核心驅(qū)動力,推出了一系列圍繞超純水的創(chuàng)新解決方案,不僅為客戶創(chuàng)造了新的價(jià)值增長點(diǎn),更為行業(yè)鑄就了全新競爭力。

創(chuàng)新引領(lǐng)超純水工藝革新,突破高端市場壁壘

在半導(dǎo)體制造過程中,超純水需達(dá)到極高的純度基準(zhǔn)。具體而言,即水分子純度需達(dá)到99.9999999999%,電阻率應(yīng)超過18.2MΩ·cm(25℃條件下)。同時(shí),對于金屬離子、總有機(jī)碳(TOC)、溶解氧等雜質(zhì)的含量也有嚴(yán)格的控制標(biāo)準(zhǔn)。這樣高標(biāo)準(zhǔn)、嚴(yán)要求的背后,反映了對生產(chǎn)技術(shù)的極致追求。正因?yàn)檫@些挑戰(zhàn),該領(lǐng)域長期被國際廠商所壟斷。

在這一背景下,高頻科技憑借自主創(chuàng)新及深厚的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)積累,克服了超純水工藝中的諸多難題,其超純水系統(tǒng)制備的超純水純度可達(dá)ppt級別,離子含量僅萬億分之一,打破了境外廠商對國內(nèi)超純水系統(tǒng)高端市場的壟斷。當(dāng)前,高頻科技是國內(nèi)極少數(shù)能夠在芯片領(lǐng)域提供超純水系統(tǒng)的企業(yè),亦是國內(nèi)首家具備12英寸14nm芯片產(chǎn)線超純水制備能力的系統(tǒng)供應(yīng)商。

高頻科技在實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破的同時(shí),高度重視知識產(chǎn)權(quán)的積累和研發(fā)體系的持續(xù)優(yōu)化,已圍繞超純水領(lǐng)域成功積累了超過70項(xiàng)知識產(chǎn)權(quán),包括發(fā)明專利、實(shí)用新型專利和軟件著作權(quán)等。此外,隨著高頻科技創(chuàng)新研發(fā)基地的正式落成,將進(jìn)一步提升關(guān)鍵核心技術(shù)自主創(chuàng)新能力,完善內(nèi)部科技創(chuàng)新機(jī)制及開放合作體系。這不僅在新的競爭周期中為高頻科技贏得了先機(jī),也為整個(gè)行業(yè)注入了新的活力和增值潛力。

水資源回收率90%,滿足降本增效與可持續(xù)發(fā)展需求

半導(dǎo)體行業(yè)既是“技術(shù)密集型”產(chǎn)業(yè),也是“資源消耗型”產(chǎn)業(yè)。一個(gè)生產(chǎn)4萬片200納米晶圓的工廠日用水量約8000至10000噸,其中70%用于制超純水;升級至16/7納米工藝后,同產(chǎn)能12英寸晶圓廠日用水量增至約20000噸。水資源成本與環(huán)保壓力居高不下,進(jìn)一步凸顯了水資源循環(huán)技術(shù)的重要性。高頻科技通過創(chuàng)新水處理工藝,將超純水制備過程中的水資源回收率提升至90%,較行業(yè)平均水平實(shí)現(xiàn)顯著優(yōu)化,為企業(yè)節(jié)水降本帶去技術(shù)支撐。

具體而言,高頻科技電子級廢水處理技術(shù)通過多工藝結(jié)合,高效經(jīng)濟(jì)地處理復(fù)雜芯片廢水,覆蓋超15種廢水類型,涵蓋了先進(jìn)制程產(chǎn)線可能產(chǎn)生的所有廢水種類,兼顧處理效率高和低成本。同時(shí)公司憑借前瞻性設(shè)計(jì)能力和制程工藝?yán)斫饽芰?精心規(guī)劃工廠水資源平衡,確保30多種制程廢水得到合理分流與回用,最終實(shí)現(xiàn)了高達(dá)90%的用水制備回收率,在確保水質(zhì)達(dá)標(biāo)的基礎(chǔ)上,為企業(yè)節(jié)水效益提升,水資源的穩(wěn)定和行業(yè)可持續(xù)發(fā)展貢獻(xiàn)了力量。

高頻科技通過超純水技術(shù)與解決方案創(chuàng)新,圍繞“品質(zhì)提升、成本優(yōu)化、資源可持續(xù)”三大核心維度,為半導(dǎo)體企業(yè)提供切實(shí)競爭力支撐。隨著中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向高端化加速邁進(jìn),高頻科技將繼續(xù)以技術(shù)創(chuàng)新為引擎,助力行業(yè)鍛造全“芯”競爭力,為全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的多元化發(fā)展貢獻(xiàn)中國力量。